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FEMAG软件助力日本九州大学深入开展晶体生长数值模拟研究
原文作者:CnTech 发布时间: 2018-04-09 13:53:25 新闻来源:
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  在提拉法(Czochralski,Cz)生长过程中,热场、熔体-晶体界面形状、坩埚中的熔体流动对微缺陷的形成以及晶体的质量有着显著的影响。数值模拟技术,是改善晶体质量、控制工艺参数以及优化Cz生长系统的有效途径。

 

  因在Cz熔炉内存在显著的对流、传导与辐射传热,且各组成元件间相互影响,Cz生长系统具有高度非线性与强耦合性。另外,由于坩埚中存在熔体流动,炉内的热场呈3D分布(当Reynolds数很大或有外加横向磁场作用时,3D特性更为突出),因此,有必要采用3D全局模型分析Cz生长工艺,以更接近实际。但是,完全的3D全局模型,特别是辐射传热计算,计算所需的内存以及计算时间非常大。

 

  为了解决上述问题,日本九州大学(Kyushu University)应用力学研究所Koichi Kakimoto教授等人开展了提拉法生长单晶硅的全局数值模拟研究,取得了颇有成效的科研成果。他们提出了模拟Cz生长单晶硅的3D全局传热计算新模型。利用多区域结构化网格对空间进行离散化,然后求解生长熔炉中的传热。采用2D全局模型获得更精确的3D全局建模的初始场量以及未知的参数(加热功率、熔体-晶体界面形状等),有效提高了全局迭代的速度。开发了2D/3D混合离散技术(熔炉中坩埚-熔体-晶体生长重要区域采用3D离散,其他区域采用2D离散)。该混合算法既保证了模拟计算的精度,又有效减少了计算的开销成本。他们还利用上述混合模型全局分析了横向磁场对单晶硅Cz生长的影响。模拟结果表明,合理的横向磁场可以有效控制单晶硅Cz生长中的全局热场分布、熔体-晶体界面形状以及坩埚中的熔体对流,从而改善晶体生长的质量。

 


图a)为Cz生长熔炉简图(3D区域用阴影表示,没有阴影的为2D区域);
图b)为横向磁场作用下,Cz生长过程中的3D熔体流动分布。

 

  九州大学应用力学研究所还引进FEMAG/FZ软件对超纯单晶硅的区熔法生长开展深入的科学研究。

 

  Koichi Kakimoto教授毕业于东京大学,先后在日本电气(NEC)、东北大学和九州大学任职,现为九州大学教授、九州大学应用力学研究所副所长、日本晶体生长学会副会长、晶体生长国际组织(IOCG)执委和秘书长、国际晶体学学会委员。K. Kakimoto教授是晶体生长领域国际知名学者、太阳能光伏行业知名专家,曾在比利时鲁汶大学任客座研究员,一直与FEMAG公司的创始人和首席科学家François Dupret教授有着密切地合作交流。