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KAYEX公司利用专业化软件FEMAG优化晶体生长工艺及先进热场开发
原文作者:CnTech 发布时间: 2018-04-13 09:43:34 新闻来源:
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    Kayex公司创建于20世纪50年代,是世界领先的半导体级和太阳能级硅、锗提拉单晶生长炉设备供应商。公司总部位于美国纽约,中国工厂位于辽宁省大连市。Kayex公司在单晶生长领域具有独特的技术优势和60多年的成功经验,全球超过2,000台的单晶炉安装量,是世界上3个拥有16英寸单晶硅棒设备制造能力的公司之一,是半导体、光伏硅片生产厂商的优秀合作伙伴,其客户遍及北美、欧亚等地区。

    作为世界领先的硅、锗晶体生长设备供应商,Kayex一直发挥专业技术优势,致力于大尺寸晶体生长设备、连续加料提拉(CCZ)、低能耗热场等前沿技术的研发,为客户提供国际领先水平的晶体生长设备以及卓越的客户定制化产品与技术服务。

 

    晶体生长数值模拟软件FEMAG专业化地耦合了晶体生长过程中所有重要物理现象,包括热对流、热传导与辐射传热,并耦合了各种电磁场对晶体生长过程中热场、熔体-晶体界面形状、坩埚中熔体流动等的影响。FEMAG软件可模拟各种晶体生长工艺,包括提拉法(Cz)、泡生法(Ky)、区熔法(FZ)、垂直布里奇曼法(VB)、垂直梯度凝固法(VGF)、定向凝固法(DS)、热交换法(HEM)以及物理气相传输法(PVT)等。该软件在集成电路、太阳能光伏、半导体芯片、蓝宝石、单晶高温合金等领域具有广泛的应用。

 

    Kayex公司技术研发中心利用FEMAG软件优化晶体生长工艺以及辅助开发先进的热场,在硅晶体生长、单晶生长炉体设计、工艺参数模拟优化方面,取得了丰硕的工程研发成果,并有效降低了研发成本,有力地提高了Kayex公司的产品市场竞争力。