瓦克集团世创电子材料股份有限公司（Wacker Siltronic AG）是全球领先的超纯硅晶片生产商之一，是众多领先的芯片制造商的合作伙伴。该公司在欧洲、亚洲和美国设有研发、生产基地，能开发并制造直径达300 mm的硅片，在全球半导体市场中具有重要的影响力。    Wacker Siltronic公司作为FEMAG软件的典型用户，很早就...

    韩国LG Siltron利用FEMAG/CZ软件分析了直径为206mm单晶硅磁场Cz法生长的过程，研究了晶体-熔体界面形状及其对缺陷行为的影响规律。他们将不同的坩埚放置在某固定加热器上以及多个加热器上，获得各种不同的加热条件，从而得到了各种不同形状的固-液界面，以达到改变熔体对流的目的。研究表明，随着自然对流以及临界提拉速率的增大，晶体-熔体界面变凹（凸向晶体）趋...

    法国InPACT S.A的研究人员利用FEMAG/CZ软件模拟分析了InP晶体的液封提拉法生长（liquid-encapsulated Czochralski，LEC）过程以及研究降低InP位错密度的途径。他们在传统LEC生长单晶工艺中，通过加入热屏，改变生长炉结构以降低晶体生长中的热梯度。这些热屏的形状通过FEMAG/CZ的传热与热应力的全局数值模拟优化得到。通...

    韩国技术教育大学（Korea University of Technology and Education）引进比利时鲁汶大学开发的FEMAG/CZ软件进行单晶硅材料生长的虚拟预测以及生长熔炉及其组件的优化设计。近期该校研究人员通过改变保温层的位置、厚度以及比较有无辐射热屏，利用该软件模拟分析了单晶硅Cz生长炉内的保温层对功率消耗以及晶体、熔体中的含氧量的影响。研...

ON Semiconductor公司主要利用FEMAG软件模拟分析LED光电领域中的氧化物晶体生长工艺，通过借助FEMAG软件数值仿真分析，改善晶体生长的质量，提高企业的产品市场竞争力。

  AXT（美国晶体技术集团）成立于1986年，位于美国硅谷，1998年在纳斯达克上市。该公司是全球知名的半导体衬底材料供应商，在全球化合物半导体制造行业始终保持领先的地位。公司主要从事GaAs、InP和Ge晶体的生产加工，产品应用于微波和毫米波通信领域，例如移动电话、卫星广播、雷达系统及其他尖端电子产品。另外，该公司产品因其良好的光电性能，还被大量用于制造激光器和发光二极管。19...

在晶体生长过程中，氧化诱生层错（oxidation induced stacking fault，OSF）环缺陷的分布及其生长模式一直是晶体质量控制的研究热点。

在晶体提拉生长过程中，点缺陷与固-液界面的形状密切相关。当固-液界面形状事先不知道时，可以利用全局模拟方法（包括综合考虑熔体热对流、气体热对流、热传导、辐射传热等）来计算、确定界面的形状。

在大尺寸单晶硅Cz生长中，原生缺陷会显著影响MOS器件（metal- oxide- semiconductor）的栅氧化物完整性（GOI）。

  韩国汉阳大学与LG Siltron等机构的科研人员利用FEMAG/CZ软件模拟研究了单晶硅提拉生长中出现的空位缺陷行为，计算了单晶硅中的空位浓度分布，并用Kinetic Monte Carlo（KMC）算法获得空位群分布。研究结果表明，当温度超过1470K时，由于空位群尚未形成，扩散率几乎为常数。在（1370~1270K）温度区间内，温度较高时空位群较大，而温度较低时...